Korte introductie tot sputterdoelen van zirkonium
Laat een bericht achter
Korte introductie tot sputterdoelen van zirkonium
Zirkonium (Zr) is een zilvermetaal met een dichtheid van 6,52 g/cm3. Zr heeft een zeer kleine neutronenabsorptiedoorsnede en een relatief hoog smeltpunt (1855 graden of 3371 graden F), waardoor het een uitstekend materiaal is voor kernenergiestaven. Zirkoniumspons en kristalstaven zijn de grondstoffen voor het maken van sputterdoelen. Hoewel zirkoniumspons goedkoop en weinig zuiver is, heeft het een hoog zuurstofgehalte. Zirkoniumkristalstaven zijn duurder en hebben een hogere zuiverheid, waardoor ze ideale materialen zijn voor sputterdoelen.
Zowel Zr als Hf kunnen in de nucleaire industrie worden gebruikt. Ze hebben echter verschillende kenmerken wat betreft neutronenvangst. Hoewel ze veel vergelijkbare eigenschappen hebben, moeten ze worden gescheiden met behulp van vloeistofextractie of destillatie van gesmolten zout. We bieden twee soorten zirkoniumdoelen met een hoge zuiverheidsgraad: laag hafnium (250ppm, of 0,025%) en hoog hafnium.
